氣動量儀相對測量精度高的原因主要有以下幾點：
1、氣源清潔度影響：儀器的測量原理是比較測量，將長度信號轉換為氣流號，并通過指示器顯示數值。因此，壓縮空氣是儀器的關鍵動力源。氣源的清潔與否關系到測量的精度高低。
2、氣密性影響：不規則的漏氣會導致壓力的瞬時波動，一般儀器示值變動較大時，幾乎都是漏氣所導致的，而且這個問題是測控人員無法檢測的，須得讓維修人員來處理。
3、誤差小：儀器的放大倍數較高，人為誤差較小，不會影響測量精度；工作時無機械摩擦，所以沒有回程誤差。
4、非接觸測量：實現測量頭與被測表面不直接接觸，減少測量力對測量結果的影響，同時避免劃傷被測件表面，對薄壁零件和軟金屬零件的測量尤為適用。
5、易于使用： 氣動量儀結構簡單，工作穩定，調整、使用和維修都很方便，即使是一個沒有經驗的操作者，也可以使用儀器進行準確的測量。
6、經濟實用：只要購買了基礎的測量系統，配合以相關的價格低廉的輔助測量工具，就可實現各種測量應用。
7、易于清潔：大多數氣動量儀在測量時所使用的壓縮空氣能夠去除被測工件上殘留的研磨顆粒或冷卻劑，所以使用儀器可以減少零件的清潔工序。由于儀器本身沒有可動的部件，基本上不會有污垢。
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